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半導(dǎo)體晶圓機器人

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4軸真空直驅(qū)雙臂R型晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： AHY系列

高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制

3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： VA系列

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程采用閉環(huán)伺服控制末端執(zhí)行器類型：下托式可選配免電池絕對式編碼器

4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境●電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性●高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度●采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）

4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： AHY系列

高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）

單軸大氣晶圓片盒搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： CA系列

采用閉環(huán)伺服控制可選配免電池絕對式編碼器可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長

4軸大氣5片晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： SA系列

采用閉環(huán)伺服控制可選配免電池絕對式編碼器可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程末端執(zhí)?器類型：下托式

4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： TBA

采用閉環(huán)伺服控制可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程可選配免電池絕對式編碼器可選mapping傳感器類型：對射式、反射式可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運機器人

2024 - 09 - 03

價格： TA

3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

2024 - 09 - 03

價格：

采用閉環(huán)伺服控制晶圓固定方式：真空吸附

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